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氣體質量流量控制器的校準方式

更新時間:2025-02-24點擊次數(shù):180
  氣體質量流量控制器的校準方式涉及多個方面和步驟,需要嚴格按照操作規(guī)程進行,以確保校準結果的準確性和可靠性。以下是對氣體質量流量控制器校準方式的詳細描述:
  一、校準前準備
  1. 環(huán)境條件:確保校準環(huán)境穩(wěn)定,溫度控制在(20±5)℃,濕度在45%RH~75%RH范圍內(nèi),且無大氣壓力突變、振動干擾及磁場干擾。
  2. 設備檢查:確認氣體質量流量控制器及其配套設備(如肥皂膜流量計、U型管壓力計、秒表、數(shù)字萬用表、氣瓶等)完好無損,量程和精度符合要求,并清潔管道以確保密封性。
  3. 設備連接:正確連接氣瓶、被檢控制器、肥皂膜流量計和U型管壓力計,確保各連接部位無漏氣現(xiàn)象。
  二、校準步驟
  1. 外觀與初步檢查:檢查控制器外觀是否損壞,按鍵是否正常,顯示屏是否清晰。打開電源,預熱15分鐘以上,觀察顯示流量值是否為零,不為零則進行清零操作。
  2. 管道連接與檢漏:根據(jù)被檢控制器流量范圍選擇量程合適的標準流量計,連接好氣路,確保接口處密封無泄漏。對于高壓氣體,應增加氣密性檢驗步驟。
  3. 示值誤差校準:通過調節(jié)閥或流量計設置多個不同的流量點(如滿量程的0%、25%、50%、75%、100%),記錄標準流量計和被檢流量計的讀數(shù),計算示值誤差。重復測量多次,取平均值以提高準確性。
  4. 響應時間校準:設定一個流量階躍變化(如從0%到50%或從50%到100%),同時啟動秒表,記錄被檢控制器響應達到穩(wěn)定所需時間。響應時間應滿足技術規(guī)格書要求,否則需調整內(nèi)部參數(shù)或更換部件。
  5. 重復性校準:選擇2-3個不同流量點進行重復性測試,每個流量點重復測量多次(如6次),記錄讀數(shù)并計算重復性誤差。確保重復性滿足要求,以證明控制器的一致性和可靠性。
  6. 控制性能校準:如果具備外部控制功能,還需進行控制性能校準。通過外部模擬信號或通信接口發(fā)送控制命令,觀察被檢控制器執(zhí)行動作的準確性和及時性。
  三、校準記錄與結果處理
  1. 數(shù)據(jù)記錄:詳細記錄校準過程中的各項數(shù)據(jù),包括流量設定值、標準流量計讀數(shù)、被檢流量計讀數(shù)、時間、溫度等環(huán)境條件。
  2. 結果判斷:根據(jù)校準數(shù)據(jù)判斷被檢控制器的示值誤差、重復性和響應時間等指標是否符合技術規(guī)格書要求。對于不合格項,需進行調整或維修后重新校準。
  3. 報告編制:整理校準數(shù)據(jù),編制校準報告。報告應包含被校儀器信息、校準依據(jù)、校準項目、校準數(shù)據(jù)、不確定度/準確度等級、校準結論等內(nèi)容。
  4. 歸檔保存:將校準報告存檔備查,以便后續(xù)追溯和質量控制。
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